曝光設備異常偵測
設備監控監控曝光設備的關鍵感測器與異常分數，預測硬體劣化早期指標，並提供維護與校正建議。
異常監控中平均準確率 = 0.924
最後更新: 12:21:57
◌感官面板
異常分數
23.4
閾值: 40 / 60
電子束發射電流
58.6uA
閾值: 50 / 40
異常分數
23.4
範圍: -10 - 110
電子束發射電流
58.6uA
範圍: 0 - 90
真空壓力
0.00003Torr
範圍: -49.99995 - 50.0001
Stage Vibration
2.4um
範圍: -45.5 - 55.5
光束聚焦偏移
14.2nm
範圍: -30 - 76
腔體溫度
23.7°C
範圍: -22 - 82
大腦面板
✓
異常監控中
AI 大腦持續監控中，當感官偵測到異常時將自動啟動診斷與分析。
感測器健康度
100% (6/6)
關鍵指標摘要
異常分數23.4
電子束發射電流58.6 uA
異常事件時間軸
尚無異常事件
系統設定
知識庫曝光設備異常偵測 知識庫
AI 模型Claude Sonnet 4.6
監測頻率2s
最新事件無