曝光設備異常偵測
設備監控監控 JBX3200 寫入機的數百個 IoT 感測器，透過 AIOps 模型預測硬體劣化早期指標，並由生成式 AI 進行語義推理診斷根因。
系統正常平均 R² = 0.875
最後更新: 00:00:00
◌即時監測面板 — 預測型 AI 即時監測
異常綜合評分
12.00
TPR0.920信心度90%
電子束發射電流
82.00μA
實際值82.00 μA誤差0.00R²0.830信心度86%
異常綜合評分
12.00
範圍: 0.00 ~ 20.00
電子束發射電流
82.00μA
範圍: 70.00 ~ 90.00
腔體真空度
2.50μTorr
範圍: 0.10 ~ 10.00
溫度分佈
22.50°C
範圍: 21.00 ~ 24.00
軸向位移
0.00μm
範圍: -0.05 ~ 0.05
電壓穩定指數
0.98
範圍: 0.96 ~ 1.00
異常事件時間軸
依事件發生時間排序，追蹤預測型 AI 偵測、生成式 AI 分析與解除狀態。
尚無異常事件
預測指標未越過警戒門檻，時間軸保持待命。
決策支援面板 — 生成式 AI 分析
✓
系統正常運行中
生成式 AI 持續監控中，當即時監測面板偵測到異常時將自動啟動診斷與分析
感測器健康度
100% (6/6)
關鍵指標摘要
異常綜合評分12.00
電子束發射電流82.00 μA
感測器即時數值
異常綜合評分12.00
電子束發射電流82.00 μA
腔體真空度2.50 μTorr
溫度分佈22.50 °C
軸向位移0.00 μm
電壓穩定指數0.98
系統設定
知識庫曝光設備維護知識庫
AI 模型Claude Sonnet 4.6
監測頻率2s
閾值設定3 個規則