曝光設備異常偵測
設備監控監控 JBX3200 寫入機的數百個 IoT 感測器，透過 AIOps 模型預測硬體劣化早期指標，並由生成式 AI 進行語義推理診斷根因。
異常監控中平均準確率 = 0.924
最後更新: 00:00:00
◌即時監測面板
異常分數
23.40
閾值: 40.00 / 60.00
電子束發射電流
58.60uA
閾值: 50.00 / 40.00
異常分數
23.40
閾值: 40.00 / 60.00
電子束發射電流
58.60uA
閾值: 50.00 / 40.00
真空壓力
0.00Torr
閾值: 0.00 / 0.00
Stage Vibration
2.40um
閾值: 4.50 / 5.50
光束聚焦偏移
14.20nm
閾值: 20.00 / 26.00
腔體溫度
23.70°C
閾值: 28.00 / 32.00
決策支援面板
✓
異常監控中
生成式 AI 持續監控中，當即時監測面板偵測到異常時將自動啟動診斷與分析。
感測器健康度
100% (6/6)
關鍵指標摘要
異常分數23.40
電子束發射電流58.60 uA
異常事件時間軸
尚無異常事件
系統設定
知識庫曝光設備異常偵測 知識庫
AI 模型Claude Sonnet 4.6
監測頻率2s
閾值設定0 個規則